Hoja de metal de titanio GR5 para semiconductores
La lámina de titanio GR5 es una aleación de titanio dúplex alfa + beta con titanio, aluminio y vanadio como componentes principales.
Descripción
La lámina de titanio GR5 tiene una amplia gama de aplicaciones en la industria de semiconductores debido a sus excelentes propiedades mecánicas, resistencia a la corrosión y maquinabilidad. Estas propiedades hacen de la lámina de titanio rectangular GR5 uno de los materiales clave comúnmente utilizados en equipos de fabricación de semiconductores.
Tecnología de producción de láminas de aleación de titanio GR5 líder en la industria
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Propiedad |
Valor típico |
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Densidad g/cm3(lb/pulgada cúbica) |
4.42 (0.159) |
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Rango de fusión grado ±15 grados (grados F) |
1649 (3000) |
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Calor específico J/kg. grados (BTU/lb/grado F) |
560 (0.134) |
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Volumen Resistividad eléctrica ohm.cm (ohm.in) |
170 (67) |
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Conductividad térmica W/mK (BTU/ft.h. grados F) |
7.2 (67) |
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Coeficiente medio de expansión térmica 0-100 grado/grado (0-212 grado F/grado F) |
8.6x10-6 (4.8) |
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Coeficiente medio de expansión térmica 0-300 grado/grado (0-572 grado F/grado F) |
9.2x10-6 (5.1) |
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Grado Beta Transus ±15 grados (grados F) |
999 (1830) |
Aplicaciones específicas de la lámina fina de titanio GR5 en la industria de semiconductores:
Grabado de cavidades: la lámina de titanio GR5 se utiliza para fabricar cavidades en equipos de grabado por plasma. Estas cavidades están sujetas a altas temperaturas y ambientes altamente corrosivos, y la lámina de titanio GR5 proporciona una excelente resistencia a la corrosión y estabilidad.
Cámaras de reacción: la lámina de titanio GR5 se utiliza para crear cámaras de reacción en equipos CVD. Estas cámaras están sujetas a altas temperaturas y gases químicos, y la lámina de titanio GR5 mantiene un buen rendimiento en este entorno.
Escudos y componentes: Los escudos y otros componentes de los equipos PVD también suelen estar hechos de lámina de titanio GR5 para proteger el interior del equipo de la contaminación y los daños.
Producción en fábrica a gran escala de láminas de titanio industriales GR5
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